不同能级加速过滤电弧沉积四面体非晶碳膜的结构和性能

不同能级加速过滤电弧沉积四面体非晶碳膜的结构和性能的英文翻译

基本释义

• The microstructure and properties of tetrahedral amorphous carbon films deposited by filtered arc with accelerating at different energetic grades