介质靶表面的充电效应对等离子体浸没离子注入过程中鞘层特性的影响

介质靶表面的充电效应对等离子体浸没离子注入过程中鞘层特性的影响的英文翻译

基本释义

• Effects of charging at dielectric surfaces on the characteristics of the sheath for plasma immersion ion implantation