光刻技术应用到集成电路制造中，就是将掩模版的几何图形转移到硅片表面的工艺过程。

光刻技术应用到集成电路制造中，就是将掩模版的几何图形转移到硅片表面的工艺过程。的英文翻译

基本释义

• lithography, as used in the manufacture of ICs, is the process of transferring geometic shapes on a mask to the surface of a silicon wafer