利用钛过渡层及掺钼改善声表面波器件用铝薄膜的微结构与性能

利用钛过渡层及掺钼改善声表面波器件用铝薄膜的微结构与性能的英文翻译

基本释义

• Improved Microstructure and Properties of Al Films Used in High-Frequency SAW Devices by Mo Additive and Ti Underlayer