基体温度对中频磁控溅射制备的氧化锌镓薄膜性能的影响

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基体温度对中频磁控溅射制备的氧化锌镓薄膜性能的影响的英文翻译

基本释义

Influences of Substrate Temperature on Properties of ZGO Thin Films Prepared by Middle-frequency Alternative Magnetron Sputtering

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