射频辉光放电自偏压对类金刚石碳膜结构和性能的影响

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射频辉光放电自偏压对类金刚石碳膜结构和性能的影响的英文翻译

基本释义

Influence of Negative Self-Bias on Microstructures and Properties of Diamond-Like-Carbon Films Deposited by RF Glow Discharge

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