微波电子回旋共振法沉积的非晶碳化硅薄膜结构和性能研究

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微波电子回旋共振法沉积的非晶碳化硅薄膜结构和性能研究的英文翻译

基本释义

Structural evolution and properties in amorphous silicon-carbon thin films deposited by micro-wave electron cyclotron resonance plasma

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