热丝法化学气相沉积金刚石系统温度分布与薄膜生长关系研究
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热丝法化学气相沉积金刚石系统温度分布与薄膜生长关系研究的英文翻译
基本释义
Study of the Relationship between Temperature Field and Diamond Film Growth in Hot-filament CVD Reactors
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