用(110)硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管
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用(110)硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管的英文翻译
基本释义
A Novel Fabrication of in-Plane Silicon Microneedles Using Structure of Convex Corner in (110) Si-Wafer
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