硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试

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硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试的英文翻译

基本释义

Testing for the Characteristic of Vacuum Microelectronic Silicon Tip Array-sensitive Thin Film Compounded Cathode Pressure Sensor

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