等离子体渗氮与氮化钛膜沉积一体化工艺对膜基结合力的影响
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等离子体渗氮与氮化钛膜沉积一体化工艺对膜基结合力的影响的英文翻译
基本释义
Effect on substrate-film adherence of TiN film enhanced plasma nitriding
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