脉冲偏压上升沿特性对等离子体浸没离子注入鞘层扩展动力学的影响
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脉冲偏压上升沿特性对等离子体浸没离子注入鞘层扩展动力学的影响的英文翻译
基本释义
Effect of rise-time patterns on dynamics of sheath expansion during plasma immersion ion implantation
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