表面波型微波感偶低气压氦等离子体空间分辨光谱诊断

表面波型微波感偶低气压氦等离子体空间分辨光谱诊断的英文翻译

基本释义

• Spatially resolved spectroscopic diagnostics of a low pressure helium microwave-induced plasma sustair ed ty a suriaticn