重掺砷硅单晶中痕量硼二次离子质谱定量分析的异常现象

重掺砷硅单晶中痕量硼二次离子质谱定量分析的异常现象的英文翻译

基本释义

• Abnormal Phenomena of Trace Boron in Heavily As Doped Silicon Crystal Using Second Ion Mass Spectrometry Analysis