镀膜参数对离子束增强沉积氮化硼薄膜中立方相含量的影响
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镀膜参数对离子束增强沉积氮化硼薄膜中立方相含量的影响的英文翻译
基本释义
Effect of Deposition Parameters on the c BN Content in the BN Films by IBED
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