非晶含氢碳膜的氧等离子体刻蚀性能研究

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非晶含氢碳膜的氧等离子体刻蚀性能研究的英文翻译

基本释义

ETCHING PROPERTIES OF AMORPHOUS HYDROGENATED CARBON FILMS IN A MULTIPOLE ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE OXYGEN PLASMA SYSTEM

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