A high linear interface circuit for micro machined capacitive accelerometer is introduced.A switch phase demodulator is used in the circuit.

• 介绍了一种可用于微机械电容式加速度传感器的接口电路，该电路应用了开关型相敏解调电路，具有灵敏度高、线性好的特点，能测量微差分电容的变化。