According to high speed of MEMS device how to acquire the clear images of it is the precondition in the cause of MEMS dynamic testing.

• 在MEMS动态测试过程中,由于MEMS器件的运动频率都比较高,如何获得高速运动的MEMS器件的清晰图像,是MEMS动态特征提取与分析的前提。