Based on microelectronics, micromechanics and microoptics, the microsystems technolgoy integrated sensors, actuators and processors, which are a technolgoy progcess.

• 摘要在微电子、微机械和微光学的基础上，集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术，是现代技术发展的一个新动向。