It decomposed MEMS into some devices, then obtained the terminals and terminal parameters based on the device-behavior, at last got the relations between parameters using ANSYS.
英
美
- 这种建模技术将微电子机械系统分成比较简单的器件(子系统),根据器件的行为特性得出器件的端点、端点变量,然后采用有限元软件ANSYS得出器件端点变量之间的关系。