Lising KOH anisotropic wet etching technique to obtain the V-shape structure of fiber array.This technique apply precrision alignment to control undercut effective.

• 利用KOH非等向性湿蚀刻技术，得到光纤阵所需之V型凹槽结构，并配合精确对准光罩之应用，有效控制侧蚀量，应用于光纤阵列晶圆制程技术。