T. H. P. Chang, Proximity Effect in Electron-Beam Lithography, J. Vac. Sci. Technol., B, Vol. 12, No. 6, p. 1271, 1975.
英
美
吴玫贞;电子束微影邻近效应参数测定与邻近效应修正之研究;交通大学应化所硕士论文;1997.
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