The electron gun,accelerator structure and klystron of accelerator operate under high vacuum condition.This article introduces the principle,structure and maintenance of Titanium sputtering ion pump.

• 加速器的电子枪、加速管和速调管等器件要求在高真空条件下工作。本文介绍加速中的钛溅射离子泵的原理、结构和维护方法。