The progresses of preparation and purification of tungsten hexafluoride,especially the preparation of high purity tungsten hexafluoride used in the electronic industry,are introduced.
英
美
- 介绍了国外六氟化钨的制备和精制工艺进展,重点描述了电子工业中应用的高纯度六氟化钨的制备工艺。