This paper investigates effects of squeeze film for microstructures that oscillates in the normal direction.The governing equation uses the Navior-Stokes equation and makes several assumptions.

• 本论文主要是研究空气阻尼作用对于微结构所造成的影响，并以史托克方程式作为出发点，经由假设之后，将简化后的方程式作为控制方程式，此方程式即为可压缩雷诺方程式。