中文关键词：气离溅射、离子源、阳极层流、溅射、氮化钛、离子镀膜、中频、脉冲直流。

中文关键词：气离溅射、离子源、阳极层流、溅射、氮化钛、离子镀膜、中频、脉冲直流。的英文翻译

基本释义

• KEYWORDS : GIMS, ion source, anode layer, sputtering, TiN, ion plating, medium frequency, pulsed DC.