以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法

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以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法的英文翻译

基本释义

Preparation of Polycrystalline Silicon Thin Films on Cheap Silicon Sheets from Powder Substrate by PECVD and Introducing Aluminum Twice

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