偏压对空心阴极放电等离子体溅射制备氮化碳薄膜的影响
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偏压对空心阴极放电等离子体溅射制备氮化碳薄膜的影响的英文翻译
基本释义
Effect of bias voltage on the formation of CNx films in hollow cathode type discharge plasma sputtering techniques
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