化学气相沉积过程各参数对沉积速度和薄膜晶体组织结构的影响
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化学气相沉积过程各参数对沉积速度和薄膜晶体组织结构的影响的英文翻译
基本释义
THE INFLUENCES OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESSING PARAMETERS COATING RATE AND FILM CRYSTAL STRUCTURES
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