卢瑟福背散射实验确定离子注入型半导体可饱和吸收镜研制过程中的注入剂量研究
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卢瑟福背散射实验确定离子注入型半导体可饱和吸收镜研制过程中的注入剂量研究的英文翻译
基本释义
Research on Ion-implantation Defined by Rutherford Back Scattering Channel Effect During the Manufacture of Semiconductor Saturable Absorption Mirror
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