压电陶瓷自感知执行器及其驱动微动工作台控制方法的研究

压电陶瓷自感知执行器及其驱动微动工作台控制方法的研究的英文翻译

基本释义

• Study on Piezoelectric Ceramic Self-sensing Actuators and the Control Method of Micro-motion Worktable Driven by It