微波等离子体化学气相沉积合成掺氮金刚石薄膜的缺陷和结构特征及其生长行为

微波等离子体化学气相沉积合成掺氮金刚石薄膜的缺陷和结构特征及其生长行为的英文翻译

基本释义

• Structure and growth behavior of low N-doped diamond film by microwave plasma assisted chemical vapor deposition