微波等离子原位表面清洗对超高真空低温气相硅外延层界面损伤的研究

微波等离子原位表面清洗对超高真空低温气相硅外延层界面损伤的研究的英文翻译

基本释义

• Investigation on the damage from ECR Ar-plasma cleaning in the interface of low temperature epi-silicon by UHV/CVD