快速热退火和氢等离子体处理对富硅氧化硅薄膜微结构与发光的影响

快速热退火和氢等离子体处理对富硅氧化硅薄膜微结构与发光的影响的英文翻译

基本释义

• Effect of rapid thermal annealing and hydrogen plasma treatment on the microstructure and light-emission of silicon-rich oxide film