用微波电子自旋共振等离子源离子注入增强溅射沉积法在玻璃表面制备氧化铟膜

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用微波电子自旋共振等离子源离子注入增强溅射沉积法在玻璃表面制备氧化铟膜的英文翻译

基本释义

Preparation of Indium Oxide Film on Glass Surface Using Sputtering Deposition Synchro-enchanced by Microwave ECR Plasma Source lon-implantation

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