用深反应离子刻蚀和介质填充技术制造具有高深宽比的超深电隔离槽
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用深反应离子刻蚀和介质填充技术制造具有高深宽比的超深电隔离槽的英文翻译
基本释义
Fabrication of Ultra Deep Electrical Isolation Trenches with High Aspect Ratio Using DRIE and Dielectric Refill
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