由工艺参量对多孔硅之纳米比例结构的初步预测

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由工艺参量对多孔硅之纳米比例结构的初步预测的英文翻译

基本释义

A First Step in Prediction of the Nanoscale Structure of Porous Silicon from Processing Parameters E. Haimi; V. K. Lindroos; R. Nowak

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