电子束、离子辅助和离子束溅射三种工艺对光学薄膜性能的影响
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电子束、离子辅助和离子束溅射三种工艺对光学薄膜性能的影响的英文翻译
基本释义
Property comparison of optical thin films prepared by E-beam, ion assisted deposition and ion beam sputtering
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