相移掩模对曝光图形空间像光强分布影响的计算机模拟
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相移掩模对曝光图形空间像光强分布影响的计算机模拟的英文翻译
基本释义
COMPUTER SIMULATION OF EFFECTS OF PHASE-SHIFT MASK ON AERIAL IMAGE INTENSITY PROFILE OF PHOTOLITHOGRAPHIC PATTERN
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