硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪工作的微分方程模型
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硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪工作的微分方程模型的英文翻译
基本释义
Differential equation model for lateral comb drive micromachined silicon gyroscopes
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硅
硅-碳原子交替重复
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