硅微机械悬臂梁谐振器的电热激励及光纤拾振技术的研究
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硅微机械悬臂梁谐振器的电热激励及光纤拾振技术的研究的英文翻译
基本释义
The Electro-Thermally Excitation of Silicon Microcantilever Resonator and Optical Fiber Pickup Vibrating Technology
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