磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究
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磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究的英文翻译
基本释义
Preparation of Ti Alloy Films Containing He by Magnetron Sputtering Method and Thermodesorption Research for He in the Films
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