螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究

螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究的英文翻译

基本释义

• Optical emission diagnosis of helicon-wave-plasma-enhanced chemical vapor deposition of nanocrystalline silicon