辉光等离子体辅助化学气相沉积低温合成金刚石薄膜的研究

辉光等离子体辅助化学气相沉积低温合成金刚石薄膜的研究的英文翻译

基本释义

• Synthesis of Diamond Films at Low Temperature Via Glow Plasma Assisted Hot Filament Chemical Vapor Deposition