集成线性编码器的高精度大行程原子力显微镜探针结构的设计和构建

集成线性编码器的高精度大行程原子力显微镜探针结构的设计和构建的英文翻译

基本释义

• Design and Construct of a High-Precision and Long-Stroke AFM Probe-Unit Integrated with a Linear Encoder