Atomic-layer deposition

• 原子层沉积

Atomic-layer deposition的用法和样例：

例句

1. An apparatus and process for atomic layer deposition that minimizes mixing of the chemicals and reactive gases is disclosed.
   在本发明中提供了一种用于原子层沉积的装置和方法，该装置和方法能减小化学用品和反应气体的混合。